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媒体报道

江南app官方海内首台关头尺寸量测装备出机中芯亚太面向 300mm(12 英寸)

作者:小编 发布时间:2023-09-06 点击:

  芯片代工场商要想出产出高良品率的芯片,除芯片建设的首要工艺外,缺点检测和各项关头尺寸的检测也是工艺过程中弗成或缺的关节。西方晶源出台的这台 300美眉 硅片量测装备,其感化是对有用制程效率规模内的各项关节停止工艺评比。比方的薄膜厚度是不是契合制程尺度,芯片在结尾刻蚀过程关节后,是不是会浸染硅片电性参数等。

  IT之家领会到,西方晶源自创立从此,专一于芯片建设关头关节的良率掌握和晋升范畴。在北京市经信局、亦庄管委会、国度 02 庞大专项组、互助火伴和投资方的配合撑持下,不停获得主要产物手艺冲破,公司旗下计较光刻系列免费软件(OPC)、电子束缺点检测装备(EBI)均已经过随着国际大厂产线考证并杀青定单支出,在国产装备范畴获得了注视的成就。这次出机,西方晶源在良率掌握产物线增加了相当关键的一环,也办理了我国在芯片建设范畴中又一项“洽商”困难。

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